печь (в полупроводниковых приборах)

печь (в полупроводниковых приборах)

 

печь (в полупроводниковых приборах)
Устройство, используемое при изготовлении полупроводниковых приборов для высокотемпературной обработки подложек в среде строго управляемого состава; используются массивные нагревательные элементы и поэтому не допускаются быстрые изменения температуры подложек; процесс требует большого количества тепловой энергии; экономичной альтернативой является процесс RTP.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • furnace


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Нужно сделать НИР?

Смотреть что такое "печь (в полупроводниковых приборах)" в других словарях:

  • вертикальная печь (в полупроводниковых приборах) — Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с вертикальным расположением технологического канала и горизонтальным расположением подложек внутри канала; превосходит горизонтальную печь по постоянству нагрева, совместима с… …   Справочник технического переводчика

  • горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах) — Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с горизонтальным расположением технологического канала и вертикальным расположением подложек в кассете; используется для термического окисления, химического осаждения из паровой… …   Справочник технического переводчика

  • СССР. Технические науки —         Авиационная наука и техника          В дореволюционной России был построен ряд самолётов оригинальной конструкции. Свои самолёты создали (1909 1914) Я. М. Гаккель, Д. П. Григорович, В. А. Слесарев и др. Был построен 4 моторный самолёт… …   Большая советская энциклопедия

  • ЗОННАЯ ПЛАВКА — ЗОННАЯ ПЛАВКА, метод очистки кристаллов, особенно тех, что применяются в ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ приборах. Материал помещается в длинную трубку и проводится через печь, в которой чередуются горячие и холодные зоны. По мере прохождения стержня через… …   Научно-технический энциклопедический словарь

  • Карбид кремния — Карбид кремния …   Википедия

  • Сверхвысоких частот техника —         техника СВЧ, область науки и техники, связанная с изучением и использованием свойств электромагнитных колебаний и волн в диапазоне частот от 300 Мгц до 300 Ггц. Эти границы условны: в некоторых случаях нижней границей диапазона СВЧ… …   Большая советская энциклопедия

  • МЕТОДЫ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ — МЕТОДЫ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ, технологическая реализация процесса кристаллизации с целью получения монокристаллов и пленок различных веществ. В промышленности и исследовательских лабораториях кристаллы выращивают из паров, растворов, расплавов,… …   Энциклопедический словарь

  • Керамика — В этой статье не хватает ссылок на источники информации. Информация должна быть проверяема, иначе она может быть поставлена под сомнение и удалена. Вы можете …   Википедия

  • МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ — (масс спектроскопия, масс спектральный анализ), метод анализа в ва путем определения массы (чаще, отношения массы к заряду m/z) и относит. кол ва ионов, получаемых при ионизации исследуемого в ва или уже присутствующих в изучаемой смеси.… …   Химическая энциклопедия

  • Изобретение транзистора — Основная статья: Транзистор Макет точечного транзистора Бардина и Браттейна. Треугольник в центре  прозрачная призма, по рёбрам которой приклеены полоски фольги  выводы коллектора и эми …   Википедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»